一种硅片周转架
授权
摘要
本实用新型涉及硅片转移附属装置的技术领域，特别是涉及一种硅片周转架，采用智能搬运机器人IGV加周转车的方式对硅片进行转移，更加方便管理，并且降低使用成本；包括周转车以及用于驱动周转车进行移动的智能搬运机器人IGV，所述周转车包括槽体，槽体上固定有带有支腿的支架，支腿底部安装有万向轮，槽体内部横向安装有隔板一，隔板一上安装有用于放置硅片的载具，隔板一上连通有排污阀，排污阀另一端伸出至槽体外部。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片周转架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122943016.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
CN216710615U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵杨另
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122943016.4
主分类号 ：
B65G35/00
IPC分类号 ：
B65G35/00 B65D6/08 B65D25/02 B65D25/24 B65D25/04 B65D81/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G35/00
其他类不包含的机械输送机
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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