一种LED外延片的智能多轴检测机构
授权
摘要

本实用新型公开了一种LED外延片的智能多轴检测机构,包括定位座、轨道、第一移动座、第二移动座、CCD相机和控制装置,所述定位座用于放置外延片,所述第一移动座设有第一金属探针,所述第二移动座设有第二金属探针。在实际工作时,将外延片放置于定位座的上壁位置,在需要对外延片进行测试时,通说第一移动座和第二移动座于轨道的调节,从而实现对第一金属探针和第二金属探针的位置调节,从而对外延片进行测试,进一步地,通过第一移动架、第二移动架和第三移动架的自动调节,可以实现了两金属探针之间的不同位置调节,从而可以测试不同形状、不同直径的外延片,在提高测试效率的同时也可以有效提高了检测的精度。

基本信息
专利标题 :
一种LED外延片的智能多轴检测机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123046038.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-06
授权号 :
CN216563020U
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
钟江
申请人 :
东莞市同和光电科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市松山湖园区沁园路17号2栋201室
代理机构 :
广东合方知识产权代理有限公司
代理人 :
陈正兴
优先权 :
CN202123046038.7
主分类号 :
H01L21/66
IPC分类号 :
H01L21/66  H01L33/00  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2022-05-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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