一种用于光刻机的压紧装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于光刻机的压紧装置，涉及光刻机技术领域，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，压边升降机构可带动水平位移机构和滚轮定位机构做升降运动；压边升降机构包括升降气缸和升降座，升降气缸可驱动升降座做升降运动；水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，位移马达可驱动位移丝杆水平移动；滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座。本实用新型压紧装置的压边升降机构和水平位移机构联动工作，使滚轮定位座和压边滚轮能够做升降、水平运动，压边滚轮能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种用于光刻机的压紧装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123088529.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-10
授权号 ：
CN216526729U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
王华甘泉
申请人 ：
广东科视光学技术股份有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
代理机构 ：
东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
成伟
优先权 ：
CN202123088529.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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