一种可调节蒸发面积的蒸镀舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种可调节蒸发面积的蒸镀舟,包括：底板、侧板、上盖板，其中底板、侧板和上板共同围城舟舱，所述舟舱内部设置有蒸镀材料，所述舟舱设在真空镀膜设备内部，所述上盖板包括：至少一组固定板，所述固定板与侧板固定连接；伸缩机构，所述伸缩机构设置在固定板内部；伸缩板，所述伸缩板设置伸缩机构的输出端，通过伸缩机构控制伸缩板在固定板中移动，控制伸缩板到侧板的距离，从而达到对舟舱上部开口面积的有效控制，使得蒸镀舟在对产品蒸镀时，可根据产品表面大小控制面积，使得膜体表面不容易产生溅射孔洞，减少资源的浪费。
基本信息
专利标题 ：
一种可调节蒸发面积的蒸镀舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123198502.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216427392U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
王天兵贾斌李学法张国平
申请人 ：
江阴纳力新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市申港街道临港科创园3号楼
代理机构 ：
苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
莫英妍
优先权 ：
CN202123198502.4
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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