一种蒸发舟及蒸镀装置
授权
摘要
本实用新型涉及OLED制造技术领域，具体公开了一种蒸发舟及蒸镀装置。本实用新型提供的蒸发舟中的辅助加热件设置在U型加热槽上，辅助加热件与U型加热槽的上部侧壁连接，使U型加热槽的槽口受热均匀，避免出现蒸发材料堵口的问题；辅助加热件与U型加热槽的底部间隔设置，降低了U型加热槽的槽口与外部真空环境的温差；此外，辅助加热件与U型加热槽的侧壁形成封闭的环形结构，在向U型加热槽内添加有机材料时，能确保蒸发舟不会发生偏移，提高了器件蒸镀的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸发舟及蒸镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020853757.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-20
授权号 ：
CN212247185U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
张川王江南徐蒙蒙史晓波冯敏强廖良生
申请人 ：
江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN202020853757.6
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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