本实用新型公开了一种半导体高精密晶圆石英舟，包括第一连接轴和安装板，所述第一连接轴上分布开设有限位槽，第一连接轴的两端对称设置有轴承；该新型结构简单、使用方便，通过传动组件配合第一连接轴上的限位槽，在将多个晶圆放置在该石英舟上时，通过传动组件带动第一连接轴上的限位槽进行一定的转动，使得限位槽上较浅的夹持部与晶圆相互夹持，减少夹持范围，并通过四根第一连接轴的同时作用，提高晶圆放置的稳定性，便于使用；通过凸块和凹槽的配合使用，可以将第二个石英舟叠加在第一个石英舟上，使得凸块限制在凹槽内，保证叠加的稳定性，进而可以实现在热处理反应釜中同时对多个石英舟上的多个晶圆进行热处理。