一种磁性粉体材料表面溅射沉积金属的装置及方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及真空表面镀膜技术领域,尤其涉及一种磁性粉体材料表面溅射沉积金属的装置及方法。本发明提供的装置,包括真空腔体、真空泵组、磁控溅射靶、阴极离子源、水冷阳极和设置于所述真空腔体内的样品盛放部件,所述样品盛放部件为样品滚筒,所述样品滚筒的轴线沿水平方向设置,且所述样品滚筒能够绕其轴线转动,所述样品滚筒两端开口,还包括能够驱动所述样品滚筒转动的动力装置;所述阴极离子源与所述磁控溅射靶由所述样品滚筒的同一端开口向内伸入所述样品滚筒中;所述水冷阳极由所述样品滚筒的另一端开口向内伸入所述样品滚筒中。本发明提供的装置能够实现磁性粉体材料的表面高速均匀沉积,提高处理效率,适宜工业生产。

基本信息
专利标题 :
一种磁性粉体材料表面溅射沉积金属的装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114318269A
申请号 :
CN202210003729.9
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-01-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张斌夏宁高凯雄张俊彦常忠亮鲍永平贾海军
申请人 :
中国科学院兰州化学物理研究所;内蒙古包钢稀土磁性材料有限责任公司
申请人地址 :
甘肃省兰州市城关区天水中路18号
代理机构 :
北京高沃律师事务所
代理人 :
霍苗
优先权 :
CN202210003729.9
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  B22F1/17  B22F1/18  C23C14/16  C23C14/18  C23C14/50  H01F41/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20220105
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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