本申请提供了一种确定晶圆缺陷形状的方法、装置、电子设备和存储介质，其中，该方法包括：针对每种规格的目标晶圆图片，将目标晶圆图片与该规格下的标准晶圆图片进行比对，获取目标晶圆图片中每个缺陷点所在的坐标位置；根据每个坐标位置，按照预设缩放比将每个缺陷点投射到目标规格的待分类图片中；确定待分类图片中任意相邻两点之间的距离小于预设距离的目标点；确定由目标点构成的区域的形状，以将所述形状确定为目标晶圆的缺陷形状。本申请实施例通过上述方法，能够自动确定每个晶圆的缺陷形状，提高确定晶圆缺陷形状的效率。