本申请实施例公开了一种量测机台的测试方法、测试装置及监控系统，所述方法包括：在测试晶圆上选择多个测量点位，多个测量点位用于表征指定工艺数据；通过多个量测机台按照设定的时间间隔对每个所述测量点位进行连续测试得到测量值；根据所述测量值计算所述量测机台的精确度。该方法通过测试晶圆上的多个测量点位代替多个测试晶圆，在日常准确度测机的同时，通过同一量测机台获取的同一测量点位在不同时间的测量值能够反应重复性，不同的量测机台获取的同一测量点位的测量值能够反应再现性，进而通过测量值能够计算出量测机台的精确度。