一种ITO靶材废料的回收利用方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种ITO靶材废料的回收利用方法，本发明主要是回收氧化铟含量90～95％的ITO废料，将ITO粉进行筛分，小于1mm的粉料和氧化铟进行球磨生产低含量二氧化锡的ITO靶材。该方法略去了将废料转化成金属铟，再生产成氧化铟的过程，大大降低了生产成本。本发明经过球磨生产低含量二氧化锡的ITO靶材，如97/3的ITO靶材，生产的97/3靶材相对密度可以达到99.7％，晶粒尺寸在10μm。本技术去除了回收粉末脱脂工序，直接乳化砂磨，缩短废料的回收工序，从而降低生产成本，提高了经济效益。
基本信息
专利标题 ：
一种ITO靶材废料的回收利用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114409380A
申请号 ：
CN202210029115.8
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘文杰文杰钟小华童培云朱刘
申请人 ：
先导薄膜材料（广东）有限公司
申请人地址 ：
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
费雯
优先权 ：
CN202210029115.8
主分类号 ：
C04B35/01
IPC分类号 ：
C04B35/01 C04B35/622 C04B35/638 C23C14/08 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C04
水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料
C04B
石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷；耐火材料；天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/01
以氧化物为基料的
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C04B 35/01
申请日 : 20220111
申请日 : 20220111
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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