本实用新型公开了一种ITO靶材废料制粉系统。本实用新型ITO靶材废料制粉系统包括环锤粉碎机、对辊破碎机、球磨筛分机和接料装置，其中，环锤破碎机包括第一破碎腔室、旋转锤轮、用于驱动旋转锤轮旋转的驱动装置和位于旋转锤轮下方的第一筛网，旋转锤轮和第一筛网均设于第一破碎腔室内部，环锤粉碎机的出料口位于第一筛网下方并与对辊破碎机、球磨筛分机、接料装置依次连通；对辊破碎机包括第二破碎腔室、对辊组和用于驱动对辊组旋转的驱动装置，对辊组设于第二破碎腔室内部；球磨筛分机包括球磨腔体和第二筛网，第二筛网用于自动筛分球磨后的物料至所述接料装置内，具有工作效率高、自动化程度高、原料适用范围广、所得ITO粉末收率和纯度高等优点。