本发明公开了一种介电弹性体驱动器、柔性足和仿海星软体机器人，属于软体机器人领域。本发明提出一种介电弹性体柔性足，通过上侧介电弹性体驱动器(可伸长)与下侧硅胶弹性体足底(可伸缩变形)，在介电弹性体驱动器通电时，使得介电弹性体柔性足向下侧弯曲；软体足底表面的凹凸结构，保障柔性足与环境接触的摩擦力。本发明提出一种仿海星软体机器人，采用中心辐射对称结构，符合海星的运动方式，相对于其他机器人结构，能够适应海底不同的地形；并采用上述介电弹性体柔性足，电致变形，相对于热致变形材料，能量效率更高。