一种电光强度调制器芯片频率响应的测试装置与方法，属于光电子技术领域，旨在实现电光强度调制器裸芯片本征频率响应测试。本发明利用光学频率梳发生器产生的脉冲光信号对微波信号源输出的扫频微波信号进行采样下变频，采样后的光信号被光电探测器探测，并被微波网络分析模块的接收机接收测量，通过分析接收到的电信号就能得到只包含微波探针响应和待测电光强度调制器响应的联合响应。随后，进行微波校准和待测芯片反射系数测试，获得相关的参数并计算出微波探针的响应。最后，从联合响应中扣减微波探针的响应得到待测芯片的相对电光频率响应。另外，微波校准后还可以追踪被芯片吸收的微波功率，由此计算出电光调制器的绝对电光频率响应。