本申请提供了一种半导体结构中的沟槽边缘的检测方法、装置与检测系统。该方法包括：获取至少包括沟槽图像的目标图像；对目标图像进行过滤出来，得到沟槽的位置信息；根据沟槽的位置信息，确定沟槽的锐度。该方法中，对目标图像进行过滤处理，将不属于沟槽的部分滤除，这样目标图像中就只有沟槽的图像，没有其他噪点，然后根据沟槽在目标图像中的位置信息，就可以计算沟槽的锐度，因为目标图像中只有沟槽的图像，没有其他部分的干扰，从而使得计算的误差比较小，进而可以准确计算沟槽的锐度，进而解决了发明人了解的技术方案中检测沟槽边缘锐度的方法不准确的问题。