本发明公开了一种OPC修正方法，包括：步骤一、提供原始版图，原始版图中存在密集图形和孤立图形的过渡区域，在过渡区域中存在两条以上的半孤立线端对齐于对齐直线上的结构。步骤二、找到所有对齐直线以及对应的各半孤立线端。步骤三、进行所述半孤立线端的预调整，包括：进行伸长或缩短来调节半孤立线端的侧面位置，使各相邻的对齐于对齐直线的两个半孤立线端的侧面之间具有第一间距，通过增加第一间距增加和半孤立线端临近的密集图形的OPC修正的工艺窗口；原始版图在经过半孤立线端调节后成为中间版图。步骤四、对中间版图进行OPC修正。本发明能提高临近于半孤立线端对齐位置处的密集图形的OPC修正的工艺窗口。