本发明提供一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括主体，所述主体的内部设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有驱动轴，所述驱动轴上设置有蚀刻装置，所述主体的内壁上设置有固定部件，所述固定部件上设置有偏移感应组件、联动组件和校正组件；所述偏移感应组件包括感应气垫、活动件、感应主杆和导向件。该集成光电子器件制造用蚀刻装置，该装置通过设置校正组件，一旦蚀刻装置出现抖动时，蚀刻装置必然带动驱动轴同步抖动，利用校正主杆带动校正件与驱动轴相接触，从而对抖动而产生偏移的驱动轴进行校正，从而从根本上解决蚀刻装置抖动的问题，进而提升了蚀刻装置对集成光电子器件的蚀刻效果，同时有效提高了设备的可靠性能。