一种柔性fNIRS检测器件，包括第一柔性材料层和设置于第一柔性材料层上的柔性电路，第二柔性材料层包裹于柔性电路上；所述柔性电路上设有元器件，元器件通过光刻键合设置于柔性电路上；与现有技术相比，通过采用柔性材质的检测器件，可以适应即使婴幼儿头部较小的弯曲半径，轻、薄使人们在佩戴时无异物感，较低的弹性模量可以与皮肤共形贴合，最大程度地发挥光源和探测器的性能。对芯片进行减薄，可以使芯片与皮肤贴合时具有更小的间隙，同时采用光刻的方法代替传统的金丝键合，避免了金丝键合后在与皮肤的接触中容易失效的问题。