一种声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置和射频前端装置，涉及半导体技术领域，其中，声表面波谐振装置包括：压电基底；位于压电基底内的金属扩散部；位于压电基底表面的电极层，包括：第一总线、第二总线、若干第一电极条、若干第二电极条，第一总线与第二电极条之间具有第一间隔，第二总线与第一电极条之间具有第二间隔，第一电极条和第二电极条交替排布；位于电极层表面和暴露的压电基底表面上的温度补偿层。从而，可使所述声表面波谐振装置激励形成活塞模态，以抑制高阶模态下的横向寄生谐振，改善或消除插入损耗问题。