一种体声波谐振装置及其形成方法，其中装置包括：第一层，第一层包括第一侧及相对的第二侧，第一层包括压电部以及位于压电部水平方向外侧的非压电部，非压电部的材料包括非压电性材料；第一电极层，位于第一侧，覆盖压电部及部分非压电部；第二层，位于第一侧，第一电极层位于第二层与第一层之间，且嵌入第二层；第二电极层，位于第二侧，覆盖压电部及部分非压电部；以及空腔，空腔位于第二层与第一层之间，嵌入第二层，第一电极层的至少一端位于空腔内。通过在所述压电部外侧设置所述非压电部，以衰减谐振区产生的横向传播的声波，抑制寄生边缘模态，提升Z_p及相应Q值，同时对Kt²的影响较小，从而可以提升体声波谐振装置的性能。