体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置
实质审查的生效
摘要
一种体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置，其中体声波谐振装置包括：空腔；第一电极层，第一电极层的至少一端位于空腔上方或内部；压电层，空腔及第一电极层位于压电层的第一侧；第二电极层，位于第二侧；第一无源结构，位于第一侧，与第一电极层的至少一个边缘具有第一重合部；第二无源结构，位于第二侧，与第二电极层的至少一个边缘具有第二重合部；第一无源结构包括：第一抬起部，位于谐振区内侧；第一延伸部，位于谐振区外侧，第一抬起部相对第一延伸部凸起；其中，第二无源结构包括：第二抬起部，位于谐振区内侧；第二延伸部，位于谐振区外侧，第二抬起部相对第二延伸部凸起。本发明抑制寄生边缘模态，提升Zp及相应Q值。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置及射频前端装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114421917A
申请号 ：
CN202210224226.4
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-03-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
汤正杰杨新宇韩兴周建
申请人 ：
常州承芯半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区国家高新技术产业开发区淹城南路518号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张瑞
优先权 ：
CN202210224226.4
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/05 H03H3/02
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20220307
申请日 : 20220307
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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