集成器件及其制作方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种集成器件及其制作方法。该集成器件的制作方法包括:在基底上形成多层金属材料层,多层金属材料层包括图形化的第一金属材料层,对第一金属材料层进行图形化时,同时去除第一晶体管区和第一电阻形成区上的第一金属材料层;接着在多层金属材料层上形成图形化的掩模层,以掩模层为掩模,刻蚀多层金属材料层,以于第一晶体管区、第二晶体管区、第一电阻形成区和第二电阻形成区上分别形成第一栅极、第二栅极、第一电阻结构和第二电阻结构,其中,剩余的第一金属材料层作为第一金属层,第二栅极和第二电阻结构包括第一金属层。如此,可以低成本的在一基底上形成结构不同的电阻结构。本发明还提供利用上述制作方法形成的集成器件。

基本信息
专利标题 :
集成器件及其制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114373716A
申请号 :
CN202210279740.8
公开(公告)日 :
2022-04-19
申请日 :
2022-03-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈维邦黄震麟郑志成
申请人 :
晶芯成(北京)科技有限公司;合肥晶合集成电路股份有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区北京经济技术开发区科创十三街29号院一区2号楼13层1302-C54
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
周耀君
优先权 :
CN202210279740.8
主分类号 :
H01L21/8234
IPC分类号 :
H01L21/8234  H01L27/07  H01L23/64  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/77
在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理
H01L21/78
把衬底连续地分成多个独立的器件
H01L21/82
制造器件,例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/822
衬底是采用硅工艺的半导体的
H01L21/8232
场效应工艺
H01L21/8234
MIS工艺
法律状态
2022-05-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/8234
申请日 : 20220322
2022-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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