一种含孔隙靶材的清洗方法
公开
摘要
本发明涉及一种含孔隙靶材的清洗方法，所述清洗方法包括：对含孔隙靶材依次进行第一醇洗、第二醇洗、清洗剂清洗和烘干，得到清洗后的含孔隙靶材；所述清洗剂清洗中采用的清洗剂包括体积比为1:(0.06‑0.18):(0.2‑0.35)的煤油、汽油和柴油；所述柴油为轻柴油。本发明提供的清洗方法，针对含孔隙靶材通过在清洗过程中采用特定的清洗剂实现了孔隙中切削液的去除，同时也避免了洗涤剂在靶材孔隙中的吸附而导致的二次残留。
基本信息
专利标题 ：
一种含孔隙靶材的清洗方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114602877A
申请号 ：
CN202210279792.5
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姚力军潘杰王学泽周友平廖培君方友华
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
牛海燕
优先权 ：
CN202210279792.5
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B13/00 C11D7/50 C11D7/40 C11D7/24 C11D7/26 C11D7/60
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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