功率转换器单元、等离子体处理设备和控制多个等离子体过程的...
公开
摘要
一种功率转换器单元(1、1')能够将电输入功率转换为双极性输出功率，并将该输出功率输送到至少两个独立的等离子体处理室(9a、9b、…、9n)，所述单元(1、1')包括：‑一个用于连接到电力输送网(7)的功率输入端口(2)，‑至少两个，优选地多于两个的功率输出端口(3a、3b、...、3n)，每个功率输出端口(3a、3b、...、3n)用于连接到等离子体处理室(9a、9b、…、9n)中的相应一个，‑控制装置(4)，其被配置成能够使用功率、电压、电流、激励频率和用于保护措施的阈值中的至少一项的控制参数控制所述单元(1、1')以将双极性输出功率输送到功率输出端口(3a、3b、…、3n)，所述控制装置(4)包括用于每个输出端口(3a、3b、…、3n)的虚拟电源(24a、24b、…、24n)，包含与每个单独的输出端口(3a、3b、...、3n)的操作相关联的所有固定参数和时变参数以及内部状态的单独完整组的每个虚拟电源(24a、24b、…、24n)被保存在所述控制装置(4)中。
基本信息
专利标题 ：
功率转换器单元、等离子体处理设备和控制多个等离子体过程的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114583981A
申请号 ：
CN202210284740.7
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2018-04-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·P·恩格尔施泰特K·鲁达J·斯维亚特尼基
申请人 ：
通快许廷格有限公司
申请人地址 ：
波兰兹隆卡
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
周家新
优先权 ：
CN202210284740.7
主分类号 ：
H02M7/06
IPC分类号 ：
H02M7/06 H02M7/5387 H01J37/32
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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