本发明涉及衬底制造领域，公开了TFT液晶面板用大尺寸衬底及其制造方法，包括以下步骤：S1、将硅晶片加工成大尺寸衬底，并初步测量大尺寸衬底的平面度和平行度；S2、基于测量数据通过加工工具部分地去除所述衬底的凸出部分和较厚部分；S3、对该衬底的表面进行抛光并通过清洗装置对抛光后的衬底进行清洁。本发明通过放料组件、清洗组件、控制组件和贴合组件等之间的配合，可以实现清洗组件相对于放料组件、衬底盒和大尺寸衬底的往复移动，进而可以保证清洗组件与每个衬底盒的同样对应位置，可以保证清洗组件对每个大尺寸衬底的同样清洗力度，有效保证了对大尺寸衬底的清洗效果，进而保证了大尺寸衬底的加工质量和后期良品率。