本发明涉及一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，用于金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层不规则曲面的均匀抛光，包括工作台、对金刚石拉拔模具进行夹持的夹持装置，以及相对于金刚石拉拔模具进给方向可调、并柔性贴合于多晶薄膜涂层、以对多晶薄膜涂层进行抛光处理的抛光装置；还包括喷淋于多晶薄膜涂层表面的金刚石微粉混合液，以及对金刚石微粉混合液进行混料并输送的混料输送装置。本发明能够对金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层，尤其是针对多晶薄膜涂层的不规则曲面进行自动、均匀抛光，加工精度高，且加工效率高，而具有较好的使用效果。本发明还涉及一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光方法。