一种固晶机摆臂装置
授权
摘要

本申请公开了一种固晶机摆臂装置,属于半导体封装设备的技术领域,其技术方案要点是包括:固晶机本体;工作台,所述工作台置于固晶机本体的一侧;放置台,所述放置台置于固晶机本体的另一侧;摆臂组件,所述摆臂组件安装于固晶机本体上,所述摆臂组件包括第一电机、摆臂体;调节机构,所述调节机构置于摆臂体上;吸嘴组件,所述吸嘴组件置于摆臂体上。本申请提供一种固晶机摆臂装置,保护晶片表面质量不受损伤的同时也能够提供所需的固晶压力,提高固晶精度和固晶效果。

基本信息
专利标题 :
一种固晶机摆臂装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220092928.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-13
授权号 :
CN216487980U
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
高勇包基寿高小龙方潮
申请人 :
杭州杭定电子产品有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路20号3幢
代理机构 :
浙江维创盈嘉专利代理有限公司
代理人 :
于岩
优先权 :
CN202220092928.7
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/683  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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