生产掺氟化锡涂层的改进的化学气相沉积法
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
本发明提出一种利用包含活性有机氟掺杂剂和有机锡化合物的液态涂层组合物以形成掺氟氧化锡涂层的改进的化学气相沉积法，此方法在一组特定的工艺条件下实行，以致制得的涂层具有一个实质上与沉积温度无关的恒定的和最低的薄层电阻。
基本信息
专利标题 ：
生产掺氟化锡涂层的改进的化学气相沉积法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85109272A
申请号 ：
CN85109272.1
公开（公告）日 ：
1986-07-09
申请日 ：
1985-12-21
授权号 ：
CN1005996B
授权日 ：
1989-12-06
发明人 ：
乔治·H·林德
申请人 ：
M&T化学有限公司
申请人地址 ：
美国新泽西州07095伍德布里奇伍德布里奇中心
代理机构 ：
上海专利事务所
代理人 ：
徐志奇
优先权 ：
CN85109272.1
主分类号 ：
C23C16/30
IPC分类号 ：
C23C16/30 C23C16/40
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30
沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
法律状态
2001-08-15 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1990-07-11 ：
授权
1989-12-06 ：
审定
1986-07-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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