硫化铅多晶薄膜的激光敏化方法
视为撤回的专利申请
摘要
本发明是关于PbS多晶薄膜红外探测器制造工艺中的一种敏化方法，为解决敏化条件难掌握，重复性差等技术问题，我们采用激光照射代替管式高温炉。该方法敏化速度快(约一分钟左右一片)成品率高，敏化过程中可直接控制敏化情况，该方法为PbS多晶薄膜红外探测器的制造提高了较好的敏化手段，敏化后器件的各性能参数与高温法做的器件比相当。
基本信息
专利标题 ：
硫化铅多晶薄膜的激光敏化方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN87102141A
申请号 ：
CN87102141.2
公开（公告）日 ：
1988-10-12
申请日 ：
1987-03-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙维国胡荣武
申请人 ：
航空工业部第014中心
申请人地址 ：
河南洛阳030信箱
代理机构 ：
航天工业部专利事务所
代理人 ：
马国祥
优先权 ：
CN87102141.2
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01G9/20 G01J5/10
法律状态
1991-05-15 ：
视为撤回的专利申请
1989-10-18 ：
实质审查请求
1988-10-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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