二维并联驱动的硅片搬运机器人

专利权的终止

摘要

本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮I(7)、同步电机和同步轮II(8)、同步带结构I(9)、摇臂I(10)，轴I(12)、摇臂II(13)、同步带结构II(14)、轴II(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。

基本信息

专利标题：

二维并联驱动的硅片搬运机器人

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1779936A

申请号：

CN200510010440.6

公开（公告）日：

2006-05-31

申请日：

2005-10-19

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

孙立宁刘延杰荣伟彬曲东升谢晖

申请人：

哈尔滨工业大学

申请人地址：

150001黑龙江省哈尔滨市南岗区一匡街2号哈工大科技园C1栋

代理机构：

哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司

代理人：

祖玉清

优先权：

CN200510010440.6

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 B25J9/02 B65G49/07 B65G47/74