一种微波水热电沉积制备涂层或薄膜的方法及装置，该装置包括水热釜体以及设置在水热釜体内的与电源相连接的电极，水热釜体置于与继电器电连接的微波炉体内，在水热釜体内还设置有与继电器相连接的温度传感器。本发明将阴、阳电极均置于反应釜体内，从而将电沉积与水热技术融为一体；将水热釜体置入微波炉的微波场中，充分利用微波的能量，使制备的薄膜或涂层在较低温度下即可达到所需的结合强度，一般在300℃制备的薄膜或涂层，其结合强度就可以达到10Mpa。