具有吸气剂屏蔽的气密密封微器件
发明专利申请公布后的驳回
摘要
公开一种微器件，其包括晶片(14)中的器件微结构(38)和通气槽(34)，该晶片夹在基板(10)与封盖(16)之间。该封盖(16)与基板(10)具有围绕该微结构(22)的凹槽(41，21)，以限定腔体。通气孔(25)与通气槽(34)相连，并因此与腔体相连。该通气孔(25)用于在腔体中抽气并密封微结构(38)。吸气剂层(32)可用于保持腔体真空。可通过通气孔(25)，通气槽(34)和腔体向吸气剂(32)提供电气连接，以使吸气剂层(32)电气接地。
基本信息
专利标题 ：
具有吸气剂屏蔽的气密密封微器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1762788A
申请号 ：
CN200510106916.6
公开（公告）日 ：
2006-04-26
申请日 ：
2005-09-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
丁孝义杰弗里·J·弗赖伊约翰·P·舒斯特
申请人 ：
摩托罗拉公司
申请人地址 ：
美国伊利诺斯州
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李涛
优先权 ：
CN200510106916.6
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00 B81C5/00 H01L21/56
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2010-03-10 ：
发明专利申请公布后的驳回
2006-06-14 ：
实质审查的生效
2006-04-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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