多铰链纳米压印压模倾斜校正机构
专利权的终止
摘要
多铰链纳米压印压模倾斜校正机构，由上连接套(1)、上铰链(2)、下铰链(3)、压模(5)和压模卡盘(4)组成，上连接套(1)与上铰链(2)的铰链座连接，下铰链(3)的铰链座与上铰链(2)的上中间框连接，下铰链(3)的下中间框与压模卡盘(4)连接，下压力通过上连接套、上下铰链和压模卡盘作用在压模上，向下与基片压紧时，上下铰链产生微转动，自动调整压模(5)和基片(6)两者的不平行，由于x、y两方向倾斜校正旋转中心都位于压模的下表面中心，压模下压转动而带来横向移动很小，使纳米压印套准精度大幅提高，制作出复杂多层的纳米图形结构和器件。
基本信息
专利标题 ：
多铰链纳米压印压模倾斜校正机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1785679A
申请号 ：
CN200510130612.3
公开（公告）日 ：
2006-06-14
申请日 ：
2005-12-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
罗先刚陈旭南李海颖胡承刚
申请人 ：
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 ：
610209四川省成都市双流350信箱
代理机构 ：
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 ：
刘秀娟
优先权 ：
CN200510130612.3
主分类号 ：
B41K3/00
IPC分类号 ：
B41K3/00 B41M5/26 B41F27/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B41
印刷；排版机；打字机；模印机
B41K
模印机；模印或印号码设备或装置
B41K3/00
具有用于支承被打印物品的整体工具的模印装置
法律状态
2016-02-10 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101646087462
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2005101306123
申请日 : 20051215
授权公告日 : 20090610
终止日期 : 20141215
号牌文件序号 : 101646087462
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2005101306123
申请日 : 20051215
授权公告日 : 20090610
终止日期 : 20141215
2009-06-10 ：
授权
2008-03-05 ：
实质审查的生效
2006-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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