涂敷装置、有机材料薄膜的形成方法、有机EL面板制造装置
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摘要
本发明提供一种不需要加热室和冷却室的涂敷装置。在沿X轴方向移动的涂敷对象物(14)上配置可在Y轴方向往复移动的喷出器(31)和激光照射装置(32a、32b)，对从喷出器(31)喷出到涂敷对象物(14)的局部表面的有机材料照射激光，进行加热使其干燥或聚合，实现薄膜化。反复进行喷出器(31)和激光照射装置(32a、32b)的Y轴方向的移动，和涂敷对象物(14)的X轴方向的移动，在涂敷对象物(14)的规定区域形成有机材料的薄膜。由于并行进行涂敷和激光照射，所以，作业效率高。而且，由于涂敷对象物(14)不处于高温，所以不需要冷却工序。
基本信息
专利标题 ：
涂敷装置、有机材料薄膜的形成方法、有机EL面板制造装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1939095A
申请号 ：
CN200580010415.6
公开（公告）日 ：
2007-03-28
申请日 ：
2005-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
根岸敏夫
申请人 ：
株式会社爱发科
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
温大鹏
优先权 ：
CN200580010415.6
主分类号 ：
H05B33/10
IPC分类号 ：
H05B33/10 B05C9/14 B05C5/00 H01L51/50
法律状态
2010-12-08 ：
授权
2007-05-23 ：
实质审查的生效
2007-03-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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