正型感光性组合物
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种蚀刻因子和粘附性出色的正型感光性组合物。该组合物含有(A)分子中具有至少一个羧基的碱溶性高分子物质、(B)吸收显影曝光光源的红外线并转换为热的光热转换物质、以及(C)硅烷偶合剂。上述(C)硅烷偶合剂优选为具有从咪唑基、乙烯基、环氧基、甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、氨基、巯基、异氰酸酯基、苯乙烯基、聚硫化物基构成的组中选择的至少一种官能团和烷氧基甲硅烷基的硅烷偶合剂。
基本信息
专利标题 ：
正型感光性组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1993650A
申请号 ：
CN200580026838.7
公开（公告）日 ：
2007-07-04
申请日 ：
2005-10-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
佐藤勉
申请人 ：
株式会社新克
申请人地址 ：
日本国千叶县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李贵亮
优先权 ：
CN200580026838.7
主分类号 ：
G03F7/075
IPC分类号 ：
G03F7/075 G03F7/039
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/075
含硅的化合物
法律状态
2010-08-25 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101006992083
IPC(主分类) : G03F 7/075
专利申请号 : 2005800268387
公开日 : 20070704
号牌文件序号 : 101006992083
IPC(主分类) : G03F 7/075
专利申请号 : 2005800268387
公开日 : 20070704
2007-08-29 ：
实质审查的生效
2007-07-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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