感光性组合物除去液
授权
摘要
本发明涉及用于除去含有颜料的感光性组合物的感光性组合物除去液，其含有从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂，和从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物和环状酯类中选出的至少一种溶剂，以及根据需要含有碳原子数为9以上的芳香族烃类。该感光性组合物除去液对感光性组合物的除去性能优良。
基本信息
专利标题 ：
感光性组合物除去液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101044435A
申请号 ：
CN200680000164.8
公开（公告）日 ：
2007-09-26
申请日 ：
2006-02-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金田昌人
申请人 ：
昭和电工株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京市中咨律师事务所
代理人 ：
段承恩
优先权 ：
CN200680000164.8
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16 G02B5/20 G03F7/26 H01L21/027 G03F7/42 C09D9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2010-09-08 ：
授权
2007-11-21 ：
实质审查的生效
2007-09-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
