形成三维物理汽相沉积靶的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种利用热均衡加压形成物理汽相沉积靶的方法。物理汽相沉积靶可以包含铱，钴，钌，钨，钼，钛，铝和钽中的一种或多种；和/或铝化物，硅化物，硅化物和硫族化物中的一种或多种。该方法还包括三维靶，这些靶包括铱，钴，钌，钨，钼，钛，铝和钽中的一种或多种。
基本信息
专利标题 ：
形成三维物理汽相沉积靶的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101052739A
申请号 ：
CN200580037737.X
公开（公告）日 ：
2007-10-10
申请日 ：
2005-11-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
W·易S·D·斯特洛瑟斯D·L·莫拉莱斯R·W·利坎I·诺兰德
申请人 ：
霍尼韦尔国际公司
申请人地址 ：
美国新泽西州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
崔幼平
优先权 ：
CN200580037737.X
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 B22F3/15
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2010-01-13 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-12-19 ：
实质审查的生效
2007-10-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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