一种低温物理气相沉积装置

专利权的终止

摘要

本实用新型提供一种低温物理气相沉积装置，包括固定板，防护垫，沉积控制开关，支撑块，沉积板，可观察杂物吸附箱结构，可缓冲夹持物理气相固定板结构，可置物沉积数据书写板结构，真空罩，电机，连接轴，联轴器，支撑板，固定块和置物板，所述的防护垫胶接在固定板的下部。本实用新型储料箱，吸料泵，套管，连通管，防护罩，观察片，密封盖，把手和吸料控制开关的设置，有利于按下吸料控制开关启动吸料泵，然后利用吸料泵配合连通管即可对真空罩内的杂物进行吸附；安装板，防护管，插杆，阻挡块，压板，缓冲簧，连接块和防护板的设置，有利于利用防护板配合压板上的插杆和缓冲簧对需要沉积的物理气相物品进行夹持固定。

基本信息

专利标题：

一种低温物理气相沉积装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920602080.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-29

授权号：

CN210030879U

授权日：

2020-02-07

发明人：

黄先锋陈杰

申请人：

天津欧亚西斯金属制品有限公司

申请人地址：

天津市北辰区小淀镇刘安庄工业区佳景道18号

代理机构：

北京久维律师事务所

代理人：

邢江峰

优先权：

CN201920602080.6

主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C14/50 C23C14/56 C23C14/22