长波长垂直腔面发射激光器的结构和制作方法
专利权的终止
摘要

一种长波长垂直腔面发射激光器的结构,包括:一衬底,该衬底为N型InP衬底;一缓冲层制作在衬底上;一下布拉格反射镜制作在缓冲层上,该下布拉格反射镜用于反射激光腔内的光来形成激光振荡;一有源区,该有源区制作在下布拉格反射镜上,用来形成光增益;一电极接触层,该电极接触层制作在有源区上的两侧,用来形成良好的欧姆接触;一上布拉格反射镜,该上布拉格反射镜制作在有源区上的中间位置,同时形成出光窗口,并用于反射激光腔内的光来形成激光振荡;一P电极,该P电极制作在电极接触层的上面,用于电流注入;一N电极,该N电极制作在衬底的下面。

基本信息
专利标题 :
长波长垂直腔面发射激光器的结构和制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101022208A
申请号 :
CN200610003587.7
公开(公告)日 :
2007-08-22
申请日 :
2006-02-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王小东吴旭明谭满清
申请人 :
中国科学院半导体研究所
申请人地址 :
100083北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
汤保平
优先权 :
CN200610003587.7
主分类号 :
H01S5/183
IPC分类号 :
H01S5/183  H01S5/187  
法律状态
2010-07-28 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101004260151
IPC(主分类) : H01S 5/183
专利号 : ZL2006100035877
申请日 : 20060215
授权公告日 : 20081022
2008-10-22 :
授权
2007-10-17 :
实质审查的生效
2007-08-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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