光集成芯片的自动测试系统
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型光集成芯片自动测试系统，涉及自动测试技术领域。它提出了一个采用可编程逻辑控制器和微机控制的，带多路光纤探头的自动测试方案，可解决产品大批量生产时晶圆裸片自动检测的难点。可编程逻辑控制器用于控制由高速、高精度伺服电机组成的一个带真空吸盘，可作三维立体空间运动的裸片抓放机械手，一个可作二维平面运动的多路光纤光源探头，以及一个多路光纤信号探头，并能够测试各种不同光性能参数，如光功率，色散，偏振，损耗等。微机用于系统用户界面的操作，系统的网络通讯，测试数据的采集、计算、分析和处理，达到全自动化、高速、高精度和高效率的目标。该系统可广泛地应用于各类光集成芯片制造过程中晶圆裸片的自动检测。
基本信息
专利标题 ：
光集成芯片的自动测试系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620043007.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-06-22
授权号 ：
CN200996890Y
授权日 ：
2007-12-26
发明人 ：
陈谷红施进浩
申请人 ：
中国电子科技集团公司第二十一研究所
申请人地址 ：
200233上海市徐汇区虹漕路30号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200620043007.2
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2009-09-16 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-12-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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