集成芯片和制造集成芯片的方法
实质审查的生效
摘要
本发明的各个实施例针对集成芯片。集成芯片包括:半导体衬底,具有位于处理衬底上面的器件衬底以及设置在器件衬底和处理衬底之间的绝缘层。栅电极位于漏极区域和源极区域之间的器件衬底上面。导电通孔延伸穿过器件衬底和绝缘层以接触处理衬底。第一隔离结构设置在器件衬底内并且包括横向设置在栅电极和导电通孔之间的第一隔离段。接触区域设置在第一隔离段和导电通孔之间的器件衬底内。导电栅电极直接位于第一隔离段上面并且电耦接至接触区域。本申请的实施例还涉及制造集成芯片的方法。
基本信息
专利标题 :
集成芯片和制造集成芯片的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114420692A
申请号 :
CN202210026168.4
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
蒋昕志林东阳柳瑞兴雷明达
申请人 :
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾新竹
代理机构 :
北京德恒律治知识产权代理有限公司
代理人 :
章社杲
优先权 :
CN202210026168.4
主分类号 :
H01L27/088
IPC分类号 :
H01L27/088 H01L21/8234
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04
其衬底为半导体的
H01L27/08
只包括有一种半导体组件的
H01L27/085
只包含场效应的组件
H01L27/088
有绝缘栅场效应晶体管的组件
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/088
申请日 : 20220111
申请日 : 20220111
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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