一种使用X射线透镜(毛细管透镜)来平行X射线的X射线荧光分析仪。本X射线荧光分析仪，包括电源、X射线激发装置、X射线探测器、信号处理装置和计算机，在X射线激发装置与被测样品之间设有X射线毛细管透镜，将从X射线激发装置出射X射线的会聚使成为平行微束。X光光管发射的X射线有较大的立体角，通过毛细管透镜，使其成为平行微束。一方面一定程度上会聚X射线能量，提高了束斑的功率密度，相对减小了X光源功率；另一方面由于X射线微平行，能够使物体与光源和探测器的距离不敏感，可以测定样品内元素的空间分布；而且由于X射线透镜可以减小高能X射线散射造成的本底，提高了信噪比，从而提高了仪器的探测极限。