一种两次曝光用长掩模版
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种两次曝光用长掩模版,适当加大长掩模版的宽度使其超过正常宽度,从而使两次曝光的图形区域位于中心较为平坦的区域内,以减少聚焦弯曲值并使其到达所允许的范围;掩模版的尺寸范围为:宽度方向200mm-350mm,长度方向250mm~350mm。掩模版上的两次曝光图形所构成的区域为长方形,该长方形区域的短边位于掩模版宽度方向的中心位置。通过在一次扫描曝光中完成普通曝光时要两次扫描加一次曝光台运动才能完成的两个区域的曝光,因而大大减少了两次曝光技术所需要的时间,降低了两次曝光技术进入大生产的困难。

基本信息
专利标题 :
一种两次曝光用长掩模版
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620049443.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-12-22
授权号 :
CN200989993Y
授权日 :
2007-12-12
发明人 :
姚峰英
申请人 :
上海集成电路研发中心有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江高科技园区碧波路177号华虹科技园4楼B区
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
王洁
优先权 :
CN200620049443.0
主分类号 :
G03F1/00
IPC分类号 :
G03F1/00  G03F1/14  G03F7/20  H01L21/027  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
法律状态
2017-01-25 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101700186756
IPC(主分类) : G03F 1/00
专利号 : ZL2006200494430
申请日 : 20061222
授权公告日 : 20071212
终止日期 : 无
2007-12-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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