ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及一种ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置，其特征在于：它包括：ITO靶材(2)、无氧铜板(3)、永久磁铁(4)、磁铁基座(5)、靶座(6)、轴座(7)、偏心轴(9)和轴承座(10)，所述无氧铜板(3)固定在靶座(6)内侧，ITO靶材(2)焊接固定在无氧铜板(3)内侧，磁铁基座(5)设置于靶座(6)内，与无氧铜板(3)平排布置，永久磁铁(4)固定在磁铁基座(5)内侧，轴承座(10)固定在磁铁基座(5)外侧，轴承(11)置于轴承座(10)内，轴座(7)固定在靶座(6)外侧，偏心轴(9)内端通过轴承(11)偏心连接于轴承座(10)内，中间穿置于轴座(7)。本实用新型靶材刻蚀的中心沟部被拉宽，靶材利用率达到了60％～70％，是原来的3倍。
基本信息
专利标题 ：
ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620126297.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-10-20
授权号 ：
CN200981848Y
授权日 ：
2007-11-28
发明人 ：
朱春光朱泉兴
申请人 ：
江阴瑞兴塑料玻璃制品有限公司
申请人地址 ：
214401江苏省江阴市青阳镇工业园区圣杨路17号
代理机构 ：
江阴市同盛专利事务所
代理人 ：
唐纫兰
优先权 ：
CN200620126297.7
主分类号 ：
C03C17/23
IPC分类号 ：
C03C17/23 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C03C17/22
用其他的无机材料
C03C17/23
氧化物
法律状态
2011-12-21 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101157724459
IPC(主分类) : C03C 17/23
专利号 : ZL2006201262977
申请日 : 20061020
授权公告日 : 20071128
终止日期 : 20101020
号牌文件序号 : 101157724459
IPC(主分类) : C03C 17/23
专利号 : ZL2006201262977
申请日 : 20061020
授权公告日 : 20071128
终止日期 : 20101020
2007-11-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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