本实用新型公开了一种等离子源，包括螺旋管、阴极与阳极，其中螺旋管两端分别与阴极和阳极相连通，螺旋管为空心导体管制成，该中空导体螺旋管的内部通水冷却，其外表面被绝缘；在阳极、螺旋管和阴级之间设置直流电源，直流电源正极连通阳极，直流电源负极连通阴极。本实用新型等离源具有单端连接电源、大幅度自强化等离子体、等离子体纯净、电极中空轻便、螺旋管可直可弯、直径和长度的调节范围大和布局灵活等突出的特点。本实用新型等离子源可以在蒸发方式和低压气相沉积中应用。