一种等离子体源
避免重复授权放弃专利权
摘要
本实用新型公开了一种等离子源,包括螺旋管、阴极与阳极,其中螺旋管两端分别与阴极和阳极相连通,螺旋管为空心导体管制成,该中空导体螺旋管的内部通水冷却,其外表面被绝缘;在阳极、螺旋管和阴级之间设置直流电源,直流电源正极连通阳极,直流电源负极连通阴极。本实用新型等离源具有单端连接电源、大幅度自强化等离子体、等离子体纯净、电极中空轻便、螺旋管可直可弯、直径和长度的调节范围大和布局灵活等突出的特点。本实用新型等离子源可以在蒸发方式和低压气相沉积中应用。
基本信息
专利标题 :
一种等离子体源
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620148974.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-11-08
授权号 :
CN200969335Y
授权日 :
2007-10-31
发明人 :
刘阳
申请人 :
北京实力源科技开发有限责任公司;刘阳
申请人地址 :
100070北京市丰台区科学城邮局4分箱
代理机构 :
北京中誉威圣知识产权代理有限公司
代理人 :
彭晓玲
优先权 :
CN200620148974.5
主分类号 :
H01J37/08
IPC分类号 :
H01J37/08 H01J37/32 H05H1/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置
H01J37/08
离子源;离子枪
法律状态
2011-01-12 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101060305676
IPC(主分类) : H01J 37/08
专利号 : ZL2006201489745
申请日 : 20061108
授权公告日 : 20071031
放弃生效日 : 20061108
号牌文件序号 : 101060305676
IPC(主分类) : H01J 37/08
专利号 : ZL2006201489745
申请日 : 20061108
授权公告日 : 20071031
放弃生效日 : 20061108
2007-10-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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