用于化学机械抛光的抛光浆液和方法

专利权的终止

摘要

本发明提供了用于化学机械抛光的水性抛光浆液，可有效地在高抛光速率下对铜进行抛光。本发明的水性浆液可以包含溶解在氧化剂中的可溶性钼盐和溶解在氧化剂中的钼酸。通过化学机械平坦化对铜进行抛光的方法包括在低压力下用抛光垫和水性浆液对铜进行抛光，所述水性浆液包含溶解在氧化剂中的可溶性钼盐和溶解在氧化剂中的钼酸、溶解在氧化剂中的MoO₃颗粒和溶解在氧化剂中的MoO₂颗粒。

基本信息

专利标题：

用于化学机械抛光的抛光浆液和方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101103089A

申请号：

CN200680002121.3

公开（公告）日：

2008-01-09

申请日：

2006-01-10

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

苏尼尔·钱德拉·扎斯里哈瑞·妮玛拉沙拉斯·海格德S·V·巴布尤达雅·B·帕特里洪荣基

申请人：

克莱麦克斯工程材料有限公司

申请人地址：

美国亚利桑那州

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

肖善强

优先权：

CN200680002121.3

主分类号：

C09K13/00

IPC分类号：

C09K13/00 C09K13/04 C09K13/06 H01L21/302

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C09

染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用

C09K

不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用

C09K13/00

蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物

法律状态

2014-03-12 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101576522070
IPC(主分类) : C09K 13/00
专利号 : ZL2006800021213
申请日 : 20060110
授权公告日 : 20120425
终止日期 : 20130110

2012-04-25 ：

授权

2008-03-05 ：

实质审查的生效

2008-01-09 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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