全封闭交叉式真空成膜机

专利权的终止

摘要

全封闭交叉式真空成膜机涉及有机分子、金属及无机化合物在真空条件下成膜的设备，主要用于制备有机及有机/无机复合半导体薄膜电子及光电子器件的设备，该成膜机包括第一蒸镀室(1)、第二蒸镀室(2)、预处理兼过渡室(3)、手套箱(4)、第一掩模室(5)、第二掩模室(6)；第一蒸镀室(1)附带第一掩模室(5)，第二蒸镀室(2)附带第二掩模室(6)，第一蒸镀室(1)与手套箱(4)经由预处理过度室(3)成垂直交叉连接；第二蒸镀室(2)、预处理过度室(3)及手套箱(4)成直线连接。第一蒸镀室(1)、第二蒸镀室(2)采用圆筒型真空室体，与外部由密封法兰连接。

基本信息

专利标题：

全封闭交叉式真空成膜机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720036684.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-04-10

授权号：

CN201024210Y

授权日：

2008-02-20

发明人：

黄维邓先宇魏昂密保秀王秋来

申请人：

南京邮电大学

申请人地址：

210003江苏省南京市新模范马路66号

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

叶连生

优先权：

CN200720036684.6

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/24

真空蒸发

法律状态

2017-05-24 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101722424461
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2007200366846
申请日 : 20070410
授权公告日 : 20080220
终止日期 : 无

2010-08-11 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101003839688
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2007200366846
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 南京邮电大学资产经营有限责任公司
变更后权利人 : 无锡方圆环球显示技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 210003 江苏省南京市新模范马路66号
变更后权利人 : 214028 无锡新区菱湖大道97号兴业楼B四楼
登记生效日 : 20100702

2010-02-10 ：

专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)

变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 南京邮电大学
变更后权利人 : 南京邮电大学资产经营有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 江苏省南京市新模范马路66号,邮编 : 210003
变更后 : 江苏省南京市新模范马路66号,邮编 : 210003
登记生效日 : 20100108

2008-02-20 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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