液相外延用双层石英管反应器

专利权的终止

摘要

一种液相外延用双层石英管反应器，它有一端设有出气口(5)而另一端为封闭端的外石英管(2)，两端均为敞口的内石英管(1)置于该外石英管(2)中且所述内石英管(1)的一端(6)外侧与该外石英管(2)设有出气口(5)的一端成密封连接，所述内石英管(1)的另一端及其管体外壁与所述外石英管(2)的内壁之间留有间隙，装有晶片(4)的晶片舟(3)置于所述内石英管(1)中。它能将氢气导向流动，使氢气稳定而均匀地流过液态反应物，从而实现均匀地外延。

基本信息

专利标题：

液相外延用双层石英管反应器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720064920.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-02

授权号：

CN201121220Y

授权日：

2008-09-24

发明人：

魏唯宁宗娥

申请人：

中国电子科技集团公司第四十八研究所

申请人地址：

410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

代理机构：

长沙正奇专利事务所有限责任公司

代理人：

马强

优先权：

CN200720064920.5

主分类号：

C30B19/06

IPC分类号：

C30B19/06