直立多片挤压式液相外延石墨舟
授权
摘要
本实用新型是一种直立多片挤压式液相外延石墨舟。采用衬底直立方式，可同时生长10片以上芯片。源液槽带有过滤板和压块，能有效地除去源液中的氧化膜。该石墨舟的特点在于芯片产量高，外延层的厚度均匀，表面平整光亮，成品率高。
基本信息
专利标题 ：
直立多片挤压式液相外延石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN90223211.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1990-11-05
授权号 ：
CN2080070U
授权日 ：
1991-07-03
发明人 ：
何胜夫罗宗铁董萍魏文超李向文赵宇
申请人 ：
中科院长春物理研究所
申请人地址 ：
130021吉林省长春市延安大路1号
代理机构 ：
中国科学院长春专利事务所
代理人 ：
宋天平
优先权 ：
CN90223211.8
主分类号 ：
C30B19/06
IPC分类号 ：
C30B19/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B19/00
液相外延层生长
C30B19/06
反应室；承载熔融液的舟皿；衬底夹持器
法律状态
1992-09-02 ：
授权
1991-07-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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