一种LED外延用石墨托盘
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摘要
本实用新型提供一种LED外延用石墨托盘。所述LED外延用石墨托盘包括石墨托盘本体；若干个放置槽，若干个所述放置槽均开设在所述石墨托盘本体的顶部；第一固定块，所述第一固定块固定安装在所述石墨托盘本体的底部；滑杆，所述滑杆固定安装在所述第一固定块上，所述滑杆的顶端延伸至所述石墨托盘本体外；第二固定块，所述第二固定块固定安装在所述滑杆的顶端；石墨环板，所述石墨环板滑动套设在所述滑杆上，所述石墨环板位于所述石墨托盘本体和所述第二固定块之间，所述石墨环板的底部和所述石墨托盘本体的顶部相接触。本实用新型提供的LED外延用石墨托盘具有使用方便、能够承载多个晶片，且能够对放置在其中晶片进行保护的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种LED外延用石墨托盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020138172.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-21
授权号 ：
CN211665173U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
周明明孙丰武
申请人 ：
青岛持久高新材料有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市平度市经济开发区曲坊村村北
代理机构 ：
青岛科通知桥知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
雷丽
优先权 ：
CN202020138172.6
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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