研磨装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种研磨装置，涉及半导体领域的制造设备。该研磨装置包括研磨头、控制器以及连接研磨头和控制器的孔轴，孔轴具有气体流通管道，控制器控制孔轴内的气体在气体流通管道内的流动状况，该研磨装置在孔轴上安装有过滤器，其可将研磨头产生的碎片过滤掉。而且该过滤器可拆卸地安装在孔轴上。与现有技术相比，本实用新型研磨装置通过在孔轴上设置过滤器将产生的碎片过滤掉，有效保护控制器不受损坏，过滤器比控制器成本低，更换过滤器比更换控制器，可有效降低了生产成本。

基本信息

专利标题：

研磨装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720073815.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-08-20

授权号：

CN201115930Y

授权日：

2008-09-17

发明人：

周海锋高喜峰王大帮蔡宗成

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200720073815.8

主分类号：

B24B37/04

IPC分类号：

B24B37/04 H01L21/304 B24B55/00

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B24

磨削；抛光

B24B

用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给

B24B37/00

研磨机床或装置；附件

B24B37/04

适用于加工平面的

法律状态

2017-09-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101749620684
IPC(主分类) : B24B 37/04
专利号 : ZL2007200738158
申请日 : 20070820
授权公告日 : 20080917
终止日期 : 无

2013-04-17 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101568006954
IPC(主分类) : B24B 37/04
专利号 : ZL2007200738158
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130326

2008-09-17 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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